第一類為亂流式(Turbulent Flow)： 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由無塵車間兩側(cè)隔 間墻板或高架地板回風(fēng)。 氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí) 1,000-100,000 級(jí)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高無塵車間等級(jí)。 缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止 運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

第二類為層流式(Laminar)： 層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率 100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等 級(jí)為 Class 1~100。其型式可分為二種： (1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)， 塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 (2)無塵車間垂直層流式：房間天花板完全以 ULPA 過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較 高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較 麻煩。 3.復(fù)合式(Mixed Type)： 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 (1)無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)： HEPA 或 ULPA 過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域 100% 以 覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至 10 級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI 制程大都采用此 種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈 度等級(jí)提至 100 級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之 潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè) 界均適用。 (3)無塵車間并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí) 10,000~100,000 之亂流潔凈室內(nèi)之 產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為 10~1000 級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類。 潔凈工作臺(tái)：等級(jí) Class 1~100 級(jí)。 潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立 之 HEPA 或 ULPA 及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間，其等級(jí)為 10~1000 級(jí)，高 度在 2.5 米左右，覆蓋面積約 10M2 以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。

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